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　　证券之星消息，5月21日，半导体设备ETF国泰基金(159516)跌4.94%，成交额66.92亿元。当日份额减少了2.82亿份，最新份额为211.69亿份，近20个交易日份额减少22.28亿份。当日资金净流出18.46亿元(资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的)，最新资产净值计算值为268.32亿元。半导体设备ETF国泰基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立(2023-07-19)以来超额回报为7.53%，近一个月超额回报为-0.22%，管理人为国泰基金公司，基金经理为艾小军。